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日本Nikon 6英寸分步重復(fù)光刻機NSR 1755i7B

技術(shù)指標(biāo)及功能

把掩膜版上的圖形按照一定的比例縮小復(fù)制到涂布有光刻膠的晶圓上，分區(qū)域進(jìn)行步進(jìn)式曝光。本機臺可用于125mm×125mm掩模和φ100mm及150mm的晶圓高精度投影曝光，曝光精度可達(dá)500nm。

基本指標(biāo)

1. RESOLUTION：0.5μm

2. LENS DISTORTION：≤0.9μm

3. RETICLE ALIGNMENT ACCURACY：≤0.02μm

4. STEPPING ACCURACY：≤0.08μm

5. OVERLAY ACCURACY：≤0.15μm(X，Y)

6. OPEN FLAME(MAX. EXPOSURE AREA)：17.5×17.5mm