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德國Parcan（Nano analytik)掃描針尖電子束光刻機SPL

簡介：

公司以全球****的針尖技術為核心競爭力，技術源自于德國伊爾默瑙工業大學，致力于主動式針尖技術在微納米結構制備和表征方面的研發，及其相關設備的產業化。

公司研制一套基于掃描針尖低能電子場發射的原理、采用壓阻式微納米針尖和多維納米定位與測量技術、在半導體器件材料表面制造尺寸小于5納米線寬結構的高性能微納加工系統。公司致力于為微納米制造企業提供制備微納米功能結構和功能器件（比如**速且*省電的基于單電子器件的芯片）的高性能設備和技術服務。

技術特點：

。場發射低能電子束

。大幅降低電子束背底散射

。幾乎消除電子束臨近效應

。光刻5納米以下單線寬結構

。光刻結構間距小于2納米

。接近原子級分辨的套刻精度

。線寫速度高達 300 μm/s

。大氣環境下可實現正負光刻

。正光刻流程無需顯影步驟

。無需調制電子束聚光

。大范圍分步重復工藝

。Mix & Match 混合光刻模式

。針尖曝光與結構成像實時進行

。真空原位觀測光刻圖案