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面議
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Tucano是一種臺(tái)式等離子系統(tǒng),專為表面清潔,改性和活化而設(shè)計(jì)。
系統(tǒng)特別設(shè)計(jì)用于等離子體表面處理包括光刻膠灰化, 有機(jī)物去除, 清洗, 活化, 改性, 沉積和刻蝕, 具有功能多, 易操作性強(qiáng), 全自動(dòng)化無(wú)需調(diào)試, 可靠性高, 低成本等優(yōu)點(diǎn), 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造, 微電子加工, 生命科學(xué)制造和前處理等。
用戶友好的圖形界面與高效的RF系統(tǒng)相結(jié)合,使Tucano成為小型生產(chǎn)或研發(fā)環(huán)境的簡(jiǎn)單通用解決方案。
應(yīng)用程序示例
1.半導(dǎo)體制造
?光刻膠去除(剝離)及其殘留物(去除浮渣)。
?有機(jī)焚燒(灰化),各向同性去除有機(jī)聚合物(如聚酰胺等)和氧化硅/氮化物。
?引線鍵合前的清潔或表面改性(粘合劑廣告和芯片載體)
?各向同性蝕刻
2.光學(xué)和眼科
工業(yè)洗滌后的原子水平清洗和預(yù)處理,以提高防眩涂層的附著力,耐刮擦; 聚合層劃傷和防霧。
3.紡織工業(yè)
清潔和表面改性,以便在天然或合成纖維上染色或印花之前獲得親水表面。(僅用于研發(fā)目的,不適用于大規(guī)模生產(chǎn))
4.生物醫(yī)藥
表面清潔和改性適用于以下應(yīng)用:
?植入裝置(增加潤(rùn)滑性,加快骨整合)
?不同材料(如注射器針頭,導(dǎo)管等)之間的粘接
?在典型的工業(yè)清潔循環(huán)后,從有機(jī)殘留物中進(jìn)行*終的超細(xì)原子級(jí)清潔
?接觸式和人工晶狀體。
?支架
?樣品瓶
?對(duì)敏感塑料材料進(jìn)行滅菌
5.精密機(jī)械
工業(yè)洗滌后在金屬和陶瓷表面的原子水平進(jìn)行清潔以改善可涂漆性或其他類型的涂層(例如PVD)。
6.塑料工業(yè)
用于潤(rùn)濕性和不可潤(rùn)濕性的表面清潔和改性
?粘接,焊接或涂裝/印刷前的表面清潔
?噴漆,印刷前表面活化
?表面氟化,增強(qiáng)功能
?交聯(lián)和表面聚合
工作原理
Tucano采用先進(jìn)的PLC和LCD彩色觸摸屏顯示器實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。使用該系統(tǒng),可以直接在系統(tǒng)組件上操作,或讓PLC根據(jù)用戶可編輯的配方執(zhí)行過程。通過使用質(zhì)量流量控制器(MFC)將一種或多種處理氣體引入處理室。RF射頻被引入腔室;與氣體分子相互作用,該信號(hào)產(chǎn)生等離子體。產(chǎn)生的等離子體提供作用于待處理的基板表面的單層的反應(yīng)性離子物質(zhì)。可以通過影響等離子體狀態(tài)的參數(shù)(氣體流量和頻率強(qiáng)度)來改變所得到的過程。
產(chǎn)品功能
臺(tái)式等離子系統(tǒng),簡(jiǎn)單而通用
?*多可處理十種不同的可編輯配方
?一致結(jié)果的一致性
?數(shù)據(jù)記錄功能
?長(zhǎng)期可靠性
?使用的主要品牌組件,如真空泵、儀表和質(zhì)量流量控制器(MKS儀器)
?可調(diào)節(jié)的RF功率水平,范圍為1W至200W
FORJ
德國(guó)MicroTec—CUT4055
Spex 3636 X-Press? 實(shí)驗(yàn)室用自動(dòng)壓片機(jī)
PD-10電鏡粉末制樣儀
全自動(dòng)切片機(jī)
YPZ-GZ110L
SPEED wave
ZYP-X60T
XHLQM-30