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勻膠機(jī)(英文名:Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜 詳細(xì)介紹:勻膠機(jī)(英文名:Spin Coater&Spin Processor) 行業(yè)俗稱:勻膠臺(tái)、勻膠機(jī)、旋涂?jī)x、涂膠機(jī)、鍍膜機(jī)、涂層機(jī) 一、產(chǎn)品概述: 勻膠機(jī)WS-650Mz-15NPPB適應(yīng)于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。美國(guó)Laurell勻膠機(jī)具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng),可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是650S 型勻膠機(jī)的特點(diǎn)。 |
WS-650-15滿足,**可達(dá)直徑305mm(12英寸)圓片或邊長(zhǎng)229x229mm(9英寸)方片;*小可達(dá)10 mm(可選配*小到3mm或5mm)涂敷。
MYCRO WS650系列旋轉(zhuǎn)涂膜儀的數(shù)碼速度控制器采用的是一個(gè)高計(jì)數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達(dá)控制器,其設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%,獲美國(guó)NIST激光測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,無(wú)需校準(zhǔn)。
請(qǐng)根據(jù)您實(shí)際需要的大小和材質(zhì)選擇相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)涂膜儀/旋涂?jī)x訂購(gòu)代碼:
◆ WS-650系列旋轉(zhuǎn)涂膜儀:
MYCRO新近推出超強(qiáng)功能的新型控制器WS-650型旋轉(zhuǎn)涂膜儀,在原有WS-400B
型基礎(chǔ)上,增加了電腦交互功能,集成旋涂分析軟件SPIN 3000,可以通過(guò)電腦實(shí)時(shí)分析和控制實(shí)驗(yàn)結(jié)果!
NPP材質(zhì)的6英寸旋轉(zhuǎn)涂膜儀,MYCRO WS-650系列型號(hào):
WS-650-23N
WS-650-23N-IND
WS-650-23N-OND
(均為NPP材質(zhì)臺(tái)式;8.5英寸(216 毫米)直徑桶狀處理腔;WS-400B可以涂敷**直徑為6英寸(150 毫米)或4英寸 X 4英寸(102 X 102 毫米)的方形基底材料;科研院所用的*理想的旋轉(zhuǎn)涂敷儀;是銷量**的臺(tái)式系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)涂膜儀)
NPP材質(zhì)8英寸,MYCRO WS-650旋轉(zhuǎn)涂膜儀系列型號(hào):
WS-650-8N
WS-650-8N-IND
WS-650-8N-OND
(旋轉(zhuǎn)涂膜儀為NPP材質(zhì)內(nèi)置式帶遠(yuǎn)程控制器;12.5英寸(318 毫米)直徑桶狀處理腔;旋轉(zhuǎn)涂膜儀可以涂敷**直徑為8英寸(200毫米)或7英寸 X 7英寸(178 X 178 毫米)的方形基底材料;這系列旋轉(zhuǎn)涂膜儀是銷量**的wet-bench型系統(tǒng))
NPP材質(zhì)13英寸,MYCRO WS-400B旋轉(zhuǎn)涂膜儀系列型號(hào):
WS-650-15N
WS-650-15N-IND
WS-650-15N-OND
(天然聚丙烯材質(zhì)外置式帶遠(yuǎn)程控制器;直徑為14.5英寸(370 毫米)半圓形處理腔;可以涂敷**直徑為13英寸(330 毫米)的基底材料;我們提供的**天然聚丙烯系統(tǒng))
MYCRO WS-650系列旋轉(zhuǎn)涂膜儀內(nèi)的高精度數(shù)碼控制器:
可設(shè)定存儲(chǔ)20個(gè)不同樣片的旋涂程序段;
每個(gè)程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
旋轉(zhuǎn)涂膜儀隨意任意時(shí)間范圍的加減速,可重復(fù)性達(dá)到+/-0.5RPM,分辨率小于0.5RPM;這一系列的旋轉(zhuǎn)涂膜儀上的液晶顯示屏可以實(shí)時(shí)讀取任意速度狀態(tài)
可選配置: IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設(shè)計(jì),帶遠(yuǎn)程控制; OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計(jì),帶遠(yuǎn)程控制; UD自動(dòng)滴膠裝置:UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒, EBR(Edge Bead Remover):晶圓去邊,機(jī)械裝置; |
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
自動(dòng)劃片機(jī)
BTF-1200C-RTP-CVD
HSE系列等離子刻蝕機(jī)