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德國Phystech FT1030深能級瞬態(tài)譜儀DLTS

直接聯(lián)系

弘度科學(xué)儀器(上海)有限公司

德國

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

關(guān)注度:

653

產(chǎn)品介紹

HERA-DLTS

高能分辨率深能級瞬態(tài)譜(DLTS)

PhysTech在1990年推出了**臺數(shù)字DLTS,隨著電腦技術(shù)的發(fā)展,使得在短時間內(nèi)進行復(fù)雜計算成為可能。在純指數(shù)發(fā)射過程模型的基礎(chǔ)上,用各種數(shù)學(xué)模型分析測量到的瞬態(tài)過程,如傅里葉轉(zhuǎn)換、拉普拉斯轉(zhuǎn)換、多指數(shù)瞬態(tài)擬合、ITS(等溫瞬態(tài)光譜)信號重疊法、溫度掃描信號重疊法(重折疊)。與其他系統(tǒng)相比,HERA-DLTS具有無法比擬的能量分辨率。

半導(dǎo)體的摻雜濃度、缺陷能級位、界面態(tài)(俘獲界面)是研究半導(dǎo)體性質(zhì)的重要手段。此設(shè)備根據(jù)半導(dǎo)體P-N 結(jié)、金-半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容(△C~t)技術(shù)和深能級瞬態(tài)譜(DLTS)的發(fā)射率窗技術(shù)測量出的深能級瞬態(tài)譜,是一種具有很高檢測靈敏度的實驗方法,能檢測半導(dǎo)體中微量雜質(zhì)、缺陷的深能級及界面態(tài)。通過對樣品的溫度掃描,可以給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì)、缺陷深能級及界面態(tài)隨溫度(即能量)分布的DLTS 譜。

特點:

  • 自動接觸檢查

  • 常規(guī)測試和加強軟件

  • 自動電容補償

  • 三終端FET電流瞬態(tài)測量

  • 大電容和濃度范圍

  • 靈活性高、模塊化硬件

  • 支持各種冷卻倉和溫度控制器

  • 傅里葉轉(zhuǎn)換(F-DLTS),比例窗口和用戶自定義校正功能

  • DLTFS(深層瞬態(tài)傅里葉光譜儀)評價

操作模式:

  • C-DLTS

  • CC-DLTS

  • I-DLTS

  • DD-DLTS

  • Zerbst-DLTS

  • O-DLTS

  • FET-Analysis

  • MOS-Analysis

  • ITS(等溫瞬態(tài)光譜儀)

  • 缺陷分析

  • 俘獲截面測量

  • I/V, I/V(T)理查森標(biāo)繪圖

  • C/V, C/V(T)

  • TSC/TSCAP

  • PITS(光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜)

  • DLOS(特殊系統(tǒng))

規(guī)格:

分辨率:

1*108 atoms/cm3

脈沖發(fā)生器

電壓范圍:±20.4V(±102opt.)
電壓分辨率:0.625mV
**電流:>±15mA
脈沖寬度:1μs-1000s
快速脈沖選配
電容表
HF信號:100Mv@1MHz(20mV optional)
范圍[pF]:3,30,300,3000(自動或手動)
電容補償:0.1-3000 pF(自動或手動)
靈敏度:0.01 fF
電壓測量
范圍:±10V
靈敏度:<1μV
輸入電阻:106Ohm
可提供偏壓補償:

電流測試

范圍:

5,從±1μA 到±10mA

靈敏度:

<1pA
可提供漏電保護
瞬態(tài)記錄

樣品速率:

2μs到2000s

樣品數(shù)量:

16-16384(opt.64k)

可調(diào)節(jié)抗失真濾膜

標(biāo)準(zhǔn)冷卻倉
溫度范圍:15K-450K或77K~800K
溫度掃描方式:使用28個不同的相關(guān)功能(軟件)通過一次溫度掃描,給出28個溫度掃描信號。
典型性能(Schottky Diode,Reverse Bias Capacitance 100pF@OV)
靈敏度:10-7T/(ND-NA)<10-5
能量精度:HT+/-3%
能量分辨率:10meV
發(fā)射率:10-3/s4/s

Options

  • Constant Capacitance

  • Optical Excitation

  • Fast Pulse Interface

  • ±100 V Option

  • Multi Sample Interface

產(chǎn)品咨詢

德國Phystech FT1030深能級瞬態(tài)譜儀DLTS

弘度科學(xué)儀器(上海)有限公司

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