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>超高分辨場發射掃描電子顯微鏡
SEM5000X
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國儀量子技術(合肥)股份有限公司
合肥
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國儀量子
2699
SEM5000X是一款超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡,其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設計、高壓隧道技術(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級,實現了低電壓分辨率的進一步提升。全新設計的樣品倉,擴展接口增加至16個,快速換樣倉**支持8寸晶圓(**直徑208 mm),極大擴展應用范圍。高級掃描模式和自動功能增強,帶來了更強的性能和更好的體驗。
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