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>等離子去膠機(jī)

等離子去膠機(jī)

直接聯(lián)系

上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

韓國

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

關(guān)注度:

765

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)地:美國,韓國;

型號:PS-100, EURA-100;

等離子去膠機(jī)主要用于光刻膠的剝離或灰化,也可用于:

1.有機(jī)及無機(jī)殘留物的去除

2. 去除殘膠以及等離子刻蝕的應(yīng)用

3.清洗微電子元件、電路板上的鉆孔或銅線框架

4.提高黏附性,消除鍵合問題

5.塑料的表面改性:O2處理以改進(jìn)涂覆性能

6.產(chǎn)生親水或疏水表面等

主要配置

1.載片(Wafers):直徑不大于100 mm(200mm)的各種基片

2.工藝氣體(Gas lines)O2, N2

3.射頻源(Source)50 500W(13.56 MHz)連續(xù)可調(diào),全自動匹配

4.氣體流量(Gas flow)MFC精確調(diào)控

5.產(chǎn)能:每次20片,每個循環(huán)約5分鐘(輝光1分鐘)

6.可升級到反應(yīng)離子蝕刻(RIE)功能

參考用戶

廣東工業(yè)大學(xué)等;

產(chǎn)品咨詢

等離子去膠機(jī)

上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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等離子去膠機(jī) - 765
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