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紅外快速退火爐系統(tǒng)

BTF-1200C-RTP-CVD

直接聯(lián)系

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

安徽合肥

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

型號:

BTF-1200C-RTP-CVD

關(guān)注度:

916

產(chǎn)品介紹

一、設(shè)備簡介

該款設(shè)備是由單端封口紅外滑軌爐、 高真空機(jī)組、供氣系統(tǒng)及操作控制界面組成,內(nèi)控?zé)犭娕加糜诳刂芌TP爐內(nèi)的溫度,出氣口通過連接手動擋板閥、波紋管用于對石英艙體內(nèi)的真空獲取,進(jìn)氣口除用于通入保護(hù)氣體或反應(yīng)氣體外,還可以用于移出爐膛后通入氣體帶走熱量的快速降溫,以此獲得較高的降溫速率。


二、技術(shù)參數(shù)

加熱系統(tǒng)

額定電壓

AC 220V  50/60Hz

額定功率

20KW

使用溫度

1200℃

額定溫度

1000℃

穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍

100~1000℃

加熱區(qū)長度

230mm

恒溫區(qū)長度

120mm

溫度控制重復(fù)性

±3℃

溫度控制精確度

±0.1℃

升溫速率

≤50℃/s

控溫方式

內(nèi)控溫

溫度過沖

3℃

爐管尺寸

高純石英管Φ90*400*R45mm

控溫方式

智能化PLC控制,具有超溫和斷偶報警功能

真空機(jī)組主要參數(shù)

空氣相對濕度

≤85%

工作電壓

220V±10%  50~60Hz

抽氣速率

165L/min

實驗真空度

5.0x10-1Pa(空載、冷態(tài))

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

供氣系統(tǒng)主要參數(shù)

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2

200sccm、500sccm

準(zhǔn)確度

±1.5%

線性

±0.5~1.5%

重復(fù)精度

±0.2%

響應(yīng)時間

氣特性 1~4Sec,電特性 10Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5MPa

壓力

≤3MPa

接口

Φ6,1/4”

顯示

液晶屏顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6


產(chǎn)品咨詢

紅外快速退火爐系統(tǒng)

BTF-1200C-RTP-CVD

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紅外快速退火爐系統(tǒng) - 916
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