粉體行業(yè)在線展覽
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廣州市固潤光電科技有限公司
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PS4L 全自動探針臺
SemiProbe是美國一家**的專業(yè)探針臺研發(fā)與制造公司，擁有多項**技術(shù)，提供完整的所有探針測試的產(chǎn)品與解決方案。其產(chǎn)品包括全自動，半自動，手動探針臺，MEMS測試探針臺，雙面測試，超低溫，高真空探針臺等等。SemiProbe 設(shè)計制造創(chuàng)新性模組化探測檢測系統(tǒng)，客戶遍及世界各地，其中包括大專院校、政府科研實驗室、各類半導(dǎo)體制造公司、涉及微機(jī)械、納米技術(shù)、光電技術(shù)、光伏技術(shù)等領(lǐng)域，為科研以及制造提供經(jīng)濟(jì)高效、實用、擴(kuò)展性強(qiáng)的探測系統(tǒng)。同時SemiProbe還為用戶提供強(qiáng)有力的技術(shù)支持，可針對用戶的具體應(yīng)用需求，定制相對應(yīng)的產(chǎn)品和技術(shù)方案。
我們有可以解決您所面臨問題的一套**的方案，PS4L 全自動探針臺是基于SemiProbe可適應(yīng)性機(jī)構(gòu)**研發(fā)的一套系統(tǒng)，與傳統(tǒng)檢測系統(tǒng)不同，PS4L 全自動探針臺所有的基礎(chǔ)組件：基座、平臺、夾具、顯微鏡裝置、顯微鏡移動、光學(xué)部件、操縱裝置等，都是可以更換的。這些特征使得PS4L 全自動探針臺可適應(yīng)不同應(yīng)用需求，并且成為節(jié)省經(jīng)費的**選擇。這種獨特的設(shè)計能夠準(zhǔn)確滿足客戶的要求，更重要的是，PS4L系統(tǒng)能夠進(jìn)行現(xiàn)場升級，以適應(yīng)環(huán)境測試條件的改變。PS4L系統(tǒng)的設(shè)計理念，與傳統(tǒng)檢測設(shè)備相比，能夠讓客戶節(jié)約更多時間，更多成本。
憑借60年的實踐經(jīng)驗，美國品牌SemiProbe可以迅速為您提供各種定制化方案，以解決不同的難題。我們的宗旨就是讓客戶使用*少的資金獲得**的技術(shù)、更及時的響應(yīng)市場需求。
SemiProbe產(chǎn)品的獨特優(yōu)點有：
1.SemiProbe****技術(shù)的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計，可以使探針臺在一個基本平臺的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級，且升級可在客戶現(xiàn)場進(jìn)行，機(jī)臺不需返廠。其中PS4L系列產(chǎn)品，可以在PS4L基礎(chǔ)平臺上，由手動探針臺升級為半自動探針臺，半自動探針臺升級為全自動探針臺，或者由6''升級為8''，8''升級為12''，增加密閉測試倉，增加高低溫等等。這些獨特的優(yōu)點，目前在業(yè)界獨此一家。
2.SemiProbe的產(chǎn)品，全部都在美國本土設(shè)計制造。
3.SemiProbe的另外一個優(yōu)點是直流探針座和RF探針座通用，用戶只要一種探針座，換上直流或RF探針，即可做不同的測試，既方便又節(jié)省成本。目前業(yè)界其他公司的產(chǎn)品，多數(shù)直流探針座和RF探針座是不一樣的，并且價格昂貴，無法通用。其超高精度的亞微米級探針座，保證了高端精密測試的需求。
產(chǎn)品優(yōu)勢：
1.可滿足**18英寸的晶圓基底的測試要求，并能兼容處理12/8/6/4英寸硅片及碎片。
2.主要應(yīng)用領(lǐng)域：器件性能、MEMS、光電子學(xué)、納米研究、光伏電池、失效分析及材料等相關(guān)領(lǐng)域。
3.可做直流和微波測試。
4.系統(tǒng)可在客戶現(xiàn)場升級。
5.可增加高低溫及屏蔽系統(tǒng)
6.手動探針測試方式，扎針對準(zhǔn)方式靈活。
7.可方便搭載loadpull， 激光測振及電學(xué)信號測試等不同的外圍設(shè)備。
8.可搭載各種規(guī)格探卡。
9.主要部件可依據(jù)實際要求定制。
PS4L 全自動系統(tǒng)
1.可選尺寸：100 mm (FA-4)， 150 mm (FA-6)， 200 mm (FA-8)， 300 mm (FA-12)
2.模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計的硬件和軟件
3.所有的基礎(chǔ)組件：平臺，夾盤，光學(xué)組件和終端操縱裝置都是可以更換的。
4.可現(xiàn)場進(jìn)行升級
5.便攜式MHU—可移除，移動，對接到任何一臺PS4L半自動系統(tǒng)從而添加自動化功能
6.可選各種各樣全面化的光學(xué)附件和升級裝置
PS4L 全自動探針系統(tǒng)
SemiProbe的PS4L 全自動探針系統(tǒng)是模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計*明顯和*靈活的自動探針臺。它采用了SemiProbe****技術(shù)Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)設(shè)計，提供了****的靈活性和大大地為客戶節(jié)省了資金費用。PS4L自動探針系統(tǒng)可滿足客戶對精準(zhǔn)的規(guī)格參數(shù)的要求。
主要特征：
1.同一系統(tǒng)可符合多種應(yīng)用需求—— DC，高頻率，OPTO，MEMS以及更多
2.有三種操作模式可選：全自動( 24/7)、半自動和手動
生產(chǎn)和分析性能
3.可處理2、3、4和6英寸的晶圓和基底
可現(xiàn)場升級更大的尺寸
4.可處理die，晶圓和幀上晶圓，有兩個終端操縱裝置
5.可處理薄和彎曲的晶圓- 50 um 到70 um
硅和III-V族化合物
6.可選多個盒子，一般是兩個
7.靈活的PILOT控制軟件包- 自動晶圓和芯片對準(zhǔn)，Z高度探測和分析，晶圓形貌，界面和更多。
8.多種選擇-熱夾盤，光學(xué)部件，CCTV系統(tǒng)，條形碼閱讀器，OCR，操縱器，探針卡和更多。
9.模塊化設(shè)計-PS4L探測系統(tǒng)具有****的靈活性
技術(shù)參數(shù)
| 尺寸: | 750 mm x 650 mm x 1930mm (29.5” x 25.4” x 76”) (W，H，L) – with optics |
| 重量: | 410 Kg (900 lbs.) |
| 夾盤平臺X-Y移動: | Travel: 155 mm x 155 mm Speed: 100 mm/sec (max) Resolution: 0.1 μm Repeatability: +/- 1.0 μm Accuracy: +/- 2 μm Planarity: +/- 8 μm over travel range Nema 17 stepper motor Optical linear encoder |
| 夾盤平臺Z移動: | ZTravel: 12 mm Resolution:0.5 μm Repeatability:+/-1 μm |
| Theta移動: | Travel:+/-8 degrees (User specified) Resolution:0.29 arc-secs， (0.00001 degrees) |
| 夾盤： | Roundor square with rings or holes， ambient， thermal and custom with lift pins Handledie， waffle packs， sawn wafers on frame， broken wafers and full wafers up to150 mm Nickelplated steel with concentric vacuum rings (standard)， other plating materialsavailable Planarity:8 μm |
| 壓盤： | Aluminumwith stainless steel top 360degree manipulator placement Manipulatorfixation – magnetic， vacuum |
| 壓盤移動： | PlatenLift: Choice of fixed or adjustable Adjustable:coarse 40 mm， fine 200 um |
| 顯微鏡安裝/移動： | Mounting – Boom， Post or Bridge Movement – Manual or Programmable – 50 x 50 mm， 50 x 75 mm， 100 x 100 mm |
| 光學(xué)： | StereoZoom， Zoom Tube， A-Zoom or Compound Microscope |
| 其它工具： | Power: AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A Vacuum: 23 Hg or -0.8 bar |
備注：規(guī)格參數(shù)的數(shù)值取決于探針系統(tǒng)的配置和配件要求
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
自動劃片機(jī)
BTF-1200C-RTP-CVD
HSE系列等離子刻蝕機(jī)
