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碳化硅外延SiC Epi

碳化硅外延SiC Epi

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中芯晶研

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碳化硅外延SiC Epi

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152

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  1. 關于碳化硅(SiC)外延片碳化硅外延片以碳化硅單晶片為襯底,通常采用化學氣相沉積(CVD)方法在晶片上沉積一層單晶,形成外延片。 其中,碳化硅外延是通過在導電碳化硅襯底上生長碳化硅外延層來制備,進一步制作成功率器件。   2. 碳化硅外延片規格我司可提供4、6英寸N型4H-SiC外延片。該外延片禁帶寬度大、飽和電子飄移速度高、存在高速二維電子氣、擊穿場強高。這些性能使得器件耐高溫、耐高壓、開關速度快、導通電阻低、體積小、重量輕。   3. SiC 外延應用 SiC外延片主要用于肖特基二極管(SBD)、金屬氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)、結型場效應晶體管(JFET)、雙極結型晶體管(BJT)、晶閘管(SCR)、絕緣柵雙極型晶體管(IGBT),應用于低壓、中壓和高壓領域。目前,用于高壓領域的SiC外延片在世界范圍內處于研發階段。image.png


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