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IoN 40等離子清洗機

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普發拓普真空設備(北京)有限公司.

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參考報價:

面議

關注度:

3509

產品介紹

先進的功能特性:
●  靈活的電極設計保證了工藝的均勻性
●  使用Windows系統的工業計算機控制
●  觸摸屏操作,圖形用戶界面(GUI
●  菜單驅動式工藝過程
●  繪圖和自診斷功能
●  以太網通訊功能
●  節能模式
●  工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能
●  安裝簡單快捷

規格參數 
工作腔室材料:                    
容積:                                36.5
內部尺寸:                            229 x 330 x 483 mm
          
可選電極
 可抽卸的多層電極板
 垂直電極
 3層溫控電極
 低微粒電極
 次級等離子體電極

工藝氣體 
質量流量控制計:                                *多至6路氣體
工藝壓力:                                         200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
抽真空時間:                                      大約1分鐘 (取決于真空泵)
放氣:                                               可調
射頻發生器:                                      風冷13.56MHz,600 (標準配置)
供給需求電源:                          220V 單相,2.3 KW, 50Hz
工藝氣體:                                         輸入壓力 1-2 bar
吹掃氣體:                                         輸入壓力 1-2 bar
壓縮空氣:                                         輸入壓力 4-6 bar
尺寸:                                               // 775 x 723 x 781 mm(不含泵)
重量:                                               157千克(不含泵)

可選項
 壓力控制器
 1%精度的真空規
 指示燈柱
 條形碼閱讀器
 工藝氣體切換器
 光譜終點檢測器
 300 13.56 MHz射頻發生器
 水冷機
 單體處理裝置
 真空泵(油泵或干泵)
 氣相MFC


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IoN 40等離子清洗機

普發拓普真空設備(北京)有限公司.

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