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>EVG GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng)

品牌展臺：亞科電子（香港）有限公司

產(chǎn)品

EVG GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng)

直接聯(lián)系

亞科電子（香港）有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

亞科電子

型號：

EVG GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng)

關(guān)注度：

513

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品簡介：

EVG GEMINI是一款全自動多腔室晶圓鍵合工藝平臺，實(shí)現(xiàn)了高程度的集成度和自動化，適用于大型量產(chǎn)。

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·**支持12英寸（300mm）晶圓

·*多兼容4個鍵合腔室和6個預(yù)處理腔室

·兼容底部對準(zhǔn)、紅外對準(zhǔn)以及SmartView對準(zhǔn)

·可選配模塊：

低溫等離子體活化

晶圓清洗

涂膠模塊

UV固化模塊

烘烤/冷卻模塊

對準(zhǔn)驗(yàn)證模塊

獲取更多信息，請訪亞科電子（香港）有限公司網(wǎng)站

產(chǎn)品咨詢

EVG GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng)

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EVG GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng) - 513

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