單溫區(qū)微型CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào)： KM-CVD-1200-I-S

所屬分類：?jiǎn)螠貐^(qū)微型CVD系統(tǒng)

M-CVD-1200-I-S單溫區(qū)微型CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學(xué)氣相沉積薄膜類制備設(shè)備，該設(shè)備在常規(guī)產(chǎn)品上進(jìn)行了一系列的改進(jìn)，包括：供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。體現(xiàn)出體積小、操作方便、智能化程度高等特點(diǎn)。

1、雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C；

2、高純狀氧化鋁纖維絕緣層，**限度節(jié)約能源；

3、爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長(zhǎng)爐子的使用壽命；

項(xiàng)目型號(hào)	KM-CVD-1200-I-S
爐管尺寸	Φ60×1000mm （Φ30/50/80/100mm可選）
**溫度	1150℃
工作溫度	1100℃
推薦升溫速率	≤10℃/min
加熱區(qū)長(zhǎng)度	440mm
功率	3KW
電壓	單相AC220V, 50Hz
溫控系統(tǒng)	K型熱電偶集成式觸摸屏控制
控溫精度	±1 ℃
密封系統(tǒng)	爐管兩端配有快開(kāi)式密封法蘭
外形尺寸	620mm(L) ×420mm(W) × 580mm(H)
氣體量程	100～1000SCCM
氣路數(shù)量	2～4路（MFC）
氣路工作溫度	5～45℃
VRD-8	**承載量：1000Lbs；抽氣速率:10m3/h；極限真空度：10-1Pa
真空度	雙極旋片機(jī)械泵：極限10^-1Pa 分子泵機(jī)組：極限10^-3 Pa