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廠務(wù)要求Utilities
電源電壓（Source Voltage）：380 V±10%
頻率（Frequency）：50/60 Hz
加熱功率(Heating Power）：165 KW底部加熱50 kW
環(huán)境溫度（Ambient Temperature）：5～40
相對濕度（Relative Humidity）：＜70%
入口端**水溫(Maximum Inlet Temperature)：77°F (25 ℃)      
*小流量（Minimum Flow Rate）：50 gpm (185 L/min) total
入口出口壓力差（Diff. Supply Pressure）：30 psi （2.1 kg/cm2）
主氬氣流量（Mass Flow Control(Max.)）：200 slpm
吹掃流量(Purge Flow)：100 slpm
合計(jì)（Facility Total）：300 slpm
推薦壓力Recommended Supply Pressure：75 psi(5.3 kg/cm2）
壓縮空氣（Air）
推薦壓力Recommended Supply Pressure：90 psi(6.3 kg/cm2)