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籽晶驅(qū)動(dòng)單位
提升速度： 0-20 in / hr(0-508mm/hr)
轉(zhuǎn)速： 0-50 rpm

廠務(wù)要求
電源電壓：380 V±10%
頻率：50 Hz
加熱功率：250 KW預(yù)留雙加熱器
環(huán)境溫度：5~40
相對(duì)濕度：＜70%
入口端**水溫：25℃
*小流量：350 L/min
入口出口壓力差：＞1.5kg/cm2
主氬氣流量：200 slpm
吹掃流量：100 slpm
合計(jì)：300 slpm
推薦壓力：＞4.5 kg/cm2 
壓縮空氣
推薦壓力：＞5.5 kg/cm2

控制系統(tǒng)
全自動(dòng)生長(zhǎng)控制過程
標(biāo)準(zhǔn)PLC/PC控制

選項(xiàng)Options  
多晶硅進(jìn)料系統(tǒng)
真空泵
真空過濾系統(tǒng)
取晶車 
坩堝裝卸系統(tǒng)