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電阻式SiC碳化硅長晶爐

電阻式SiC碳化硅長晶爐

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上海磐云科技有限公司

上海

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

磐云科技

型號:

電阻式SiC碳化硅長晶爐

關注度:

142

產品介紹

設備特點:

  • 1 電阻式碳化硅-單晶爐,電阻式石墨加熱,改進型Lely方法的升華長晶技術,物理氣相傳輸法(PVT)生長碳化硅單晶晶體;

  • 2 采用前出料結構形式設備整體操作簡單、布局合理,制造、裝配過程均有嚴格品控;

  • 3 主要組成部件:爐室組件、傳動系統、加熱系統、氣路系統、真空系統、冷卻系統、自動控制系統、報警系統、人機界面系統等;

  • 4 自主研發的全自動計算機控制系統,可實現抽空、檢漏、爐壓、工藝氣體流量控制、長晶過程的自動控制。


加熱系統:

  • 石墨加熱器配置:上下兩組獨立石墨電阻加熱器,獨立溫控,工藝亦可上下加熱器同時溫度 控制,上方15KW修飾加熱器可修飾坩堝徑向溫度梯度,主加熱器 60KW x 2 控制軸向溫度梯度 

  • 控制組件:PLC+PID(人機界面)

  • 控制模式:溫度控制/功率控制

  •  溫度檢測:紅外檢測儀,上下各配置一個,上測溫儀可移動量測坩堝邊緣溫度, 可以得到籽晶區徑向溫度梯度

  • 加熱功率:上方加熱器15KW,下側主加熱器60KW x 2 

  • **溫度:2400℃

  • 溫控范圍:1000-2400℃,精度:±1℃

  • 溫控功率精度:滿量程范圍內為設定值的±0.1% W


自動控制系統:

  • 組成:集成機柜+泵閥操作單元+真空測量單元+加熱控制單元+提升旋轉控制單元+水路 檢測單元+進氣及壓力控制單元+報警單元 

  • 關鍵制程數據實時采集保存(溫度、壓力、加熱功率、電流等,保存周期≥1年) 

  • 其他非關鍵設備參數實時采集保存(保存周期≥3個月) 

  • 具備溫度,壓力,電流,功率等制程參數實時采集并生成曲線 

  • 報警記錄,操作日志保存(保存周期≥6個月) 

  • 可設定多組Recipe和離線編輯配置recipe 

  • 壓力單位顯示為torr 

  • 可遠程監控設備運行狀態,可與生產系統連接 

  • 具備用戶登錄及賬戶管理系統,可以為不同的賬戶分配不同的權限



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電阻式SiC碳化硅長晶爐

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