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優(yōu)勢

· 納米級縱向分辨率，適合光滑表面測量分析
· 簡單、精確、快速、可重復(fù)的測量方式
· 可結(jié)合共焦顯微反射光譜測量

測量功能

· 表面三維粗糙度非接觸測量
· 表面微觀三維結(jié)構(gòu)測量
· 顯微反射光譜測量（選）
· 一鍵式快速測量

適用對象

· 精密光學(xué)元件，微納加工器件，金屬機(jī)加工零件等

測量原理

· 白光干涉顯微測量原理：采用白光光源，將非相干光干涉和高分辨率顯微成像技術(shù)相結(jié)合形成微觀三維輪廓，采用不同測量倍率物鏡，縱向測量分辨率均可達(dá)到亞納米量級
· 顯微光譜測量：選配光譜模塊可以實現(xiàn)表面微區(qū)光譜測量和厚膜測量功能

從產(chǎn)品研發(fā)到質(zhì)量控制，Micro1000 系統(tǒng)可以用于對從超光滑鏡面到粗糙面的各種樣品進(jìn)行表面微觀測量分析和粗糙度質(zhì)量評價。