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優(yōu)勢(shì)

· 對(duì)各種晶圓的表面進(jìn)行一次性非接觸全口徑均勻采樣測(cè)量
· 簡(jiǎn)單、精確、快速、可重復(fù)的測(cè)量方式，多功能
· 強(qiáng)大的附加模塊：晶圓加熱循環(huán)模塊（**500度）；表面粗糙度測(cè)量模塊；粗糙表面晶圓平整度測(cè)量模塊

適用對(duì)象

· 2 寸- 8 寸/12 寸拋光晶圓（硅、砷化鎵、碳化硅等）、圖形化晶圓、鍵合晶圓、封裝晶圓等；液晶基板玻璃；各類薄膜工藝處理的表面

適用領(lǐng)域

· 半導(dǎo)體及玻璃晶圓的生產(chǎn)和質(zhì)量檢查
· 半導(dǎo)體薄膜工藝的研究與開發(fā)
· 半導(dǎo)體制程和封裝減薄工藝的過程控制和故障分析

測(cè)量原理

· 晶圓制程中會(huì)在晶圓表面反復(fù)沉積薄膜，基板與薄膜材料特性的差異導(dǎo)致晶圓翹曲，翹曲和薄膜應(yīng)力會(huì)對(duì)工藝良率產(chǎn)生重要影響
· 采用結(jié)構(gòu)光反射成像方法測(cè)量晶圓的三維翹曲分布，通過翹曲曲率半徑測(cè)量來推算薄膜應(yīng)力分布，具有非接觸、免機(jī)械掃描和高采樣率特點(diǎn)，12英寸晶圓全口徑測(cè)量時(shí)間低于30s
· 通過Stoney公式及相關(guān)模型計(jì)算晶圓應(yīng)力分布