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CD1000等離子表面處理設備

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北京燕京電子有限公司

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802

產品介紹

產品介紹:

  • 反應艙:

    材料:鋁

    有效尺寸:700 x 700 x 1000mm

    容積:490升

    艙門:裝有可視窗口

    托盤:8個。尺寸:591 x 697 x 40mm

  • 真空度測量:

    皮拉尼真空計(利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測量的,而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導率有關)

  • 真空泵:

    旋片式真空泵;480m3 每小時的機械增壓泵。

  • 頻射發生器:

    0~2500w可調,100KHZ發生器

  • 控制系統:

    觸摸屏操作,PLC控制系統

    PLC可實現下列功能:

    1、自動控制反應過程;

     2、根據處理材料設定不同的處理工藝流程;

     3、測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發生器輸入電壓等指標;

     4、監測所有的運行指標,保證在設定范圍之內;

     5、 設定操作、維護密碼。

  • 電源:

    380V AC、三相、50Hz、40A.

  • 反應氣體:

    一個氣體輸入端口,含氣體流量控制器(MFC);根據用戶需要,可擴展

  • 氣體輸入:

    直徑1/4''(0.645厘米) 管道;輸入壓力:1Bar.

  • 尾氣排放:

    直徑38mm 輸出端口。

  • 安全性能:

    急停開關;真空泵保護鎖;高溫保護鎖;CE安全認證。

可選件:

  • 頻射發生器:2.45GHZ, 13.56MHZ

  • 多個氣體輸入管道。

  • 根據客戶工藝要求制作的軟件程序

  • 根據客戶要求制作的托盤。

  • 輥輪式載料系統。

  • N2 Purge.

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