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技術(shù)優(yōu)勢：

1、采用**DownStream設(shè)計，等離子體中不含任何電荷及離子態(tài)物質(zhì)，防止對樣品表面的濺射損傷；

2、ICP誘導(dǎo)激發(fā)等離子體，等離子體量大，且作用范圍廣；

3、可同時清洗3根透射電鏡樣品桿，支持ThermoFisher/JEOL/Hitachi全系列樣品桿；

4、采用Qwk-Switch快接口設(shè)計，等離子發(fā)生器可以直接接入其他真空腔體進(jìn)行在線清洗，一機多用；

5、清洗功率范圍：10W-99W，樣品清洗艙大小：7英寸（φ） X 7英寸（H）；

6、可直接利用O2或Ar清洗碳膜；

7、配備真空探測系統(tǒng)，可設(shè)定真空范圍自動進(jìn)行清洗；

8、清洗速率：1.5nm/min@30W， 清洗去除為線性模式，可定量化去除污染