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技術(shù)參數(shù)：

真空腔主要技術(shù)參數(shù)：

腔體漏率小于2×10-10atm cc/sec

小于0.5%端口對(duì)準(zhǔn)誤差

玻璃球拋光

7步清洗過程

可選配置

MU金屬內(nèi)層作為磁屏蔽罩

不銹鋼內(nèi)層，用于沉積系統(tǒng)

電鍍拋光

水冷

低溫保持器隔熱罩

主要特點(diǎn)：

Johnsen Ultravac公司的超高真空腔有很多種配置，可以提供適合用戶各種特殊要求和性能的腔體。

Johnsen Ultravac公司生產(chǎn)的超高真空腔體性能優(yōu)異。在腔體的制造過程中，JUV的工程師們特別重視消除任何可能的漏氣現(xiàn)象，腔體的真空度都能好于10-11Torr。每一個(gè)端口都經(jīng)過精心的校準(zhǔn)，確保它們能夠準(zhǔn)確的裝載各種配件。在進(jìn)行切削加工時(shí)，特別注意避免腔體遭到各種材料的污染；在完成切削后，所有的部分會(huì)被仔細(xì)清洗，并在超凈間中進(jìn)行焊接；*后，在完成端口位置的再一次確認(rèn)后，超高真空腔體才會(huì)進(jìn)行*后的清理與包裝