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美國SVT CBr4源/CBr4氣體入射源

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642

產品介紹

CBr4是很好的III-V材料的p型摻雜源。在使用MBE技術生長p型摻雜外延材料中具有很多用途。

SVT公司CBr4模塊適用于任何MBE,具有安全、操作簡單等特點。CBr4通過一個壓力控制系統被輸送到腔室。此壓力控制系統可以控制蒸汽壓流量。氣體控制面板可以精確控制CBr4氣體的流量。

特點

適用于任何MBE

高性能的氣體入射源

先進的氣體操作系統

安全,操作簡單

部件

氣體入射源

帶有加熱器的入射源(長度可客戶定制)

溫度控制器(可放在電子控制柜中)

雙接頭氣體管路

氣體操作系統

外部手動可調閥門

熱漏閥和控制器

冷陰極真空規以及控制器

可選

氣動閥門

氣動閥門控制器

氣路烘烤裝置

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