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SVT RHEED及圖像獲取系統

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645

產品介紹

反射高能電子衍射儀是MBE制程的一部分。在薄膜沉積過程中,RHEED給客戶提供了重要的信息。

首先,RHEED圖像表征樣品表面的狀態。

其次,其強度震蕩可以提供生長速率的量化數據。

RHEED提供了清晰的焦點,以及衍射圖樣,并能夠在屏幕上高亮度顯示。

電子光學部件有磁性保護罩,便于提高操作性。

可選部件:RHEED圖像分析硬件和軟件系統,可以實時獲取RHEED圖樣,使用戶便于觀察和控制薄膜生長質量。完整的RHEED系統包括 10KeV RHEED電子束源,電源及配套光纜。

技術參數:

束流電壓

10KV

燈絲電流

3A

發射電流

5A

光斑大小

1.0mm (17’’/1075px距離)

**烘烤溫度

230 oC

RHEED Electron Source

2.75"和4" 法蘭

RHEED Power Supply

RHEED Image Analysis Software

高分辨CCD 或相機

實時分析

2D/3D分析

RHEED Optional Components

主要特點:

實時檢測外延生長

測量薄膜生長速率

單晶薄膜的生中速率測量

光學部件帶有磁性罩

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