粉體行業(yè)在線展覽
粉體行業(yè)在線展覽
直接聯(lián)系
新耕（上海）貿(mào)易有限公司
美國
面議
468
儀器簡介：
應(yīng)用：
◆ 二氧化硅、氮化硅、氮氧硅全自動沉積工藝。
技術(shù)參數(shù)：
SKY公司的C1 PECVD設(shè)備是買斷Novellus C1型號的技術(shù)授權(quán)在國內(nèi)生產(chǎn)的PECVD設(shè)備，所有性能指標(biāo)均和美國原產(chǎn)地Novellus C1相同，配件國產(chǎn)率超過70%。 SKY公司依托Novellus公司的技術(shù)授權(quán)，擁有本地及回國人員組成的強大技術(shù)團隊，目前產(chǎn)品主要應(yīng)用于4~6”主流硅半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體及MEMS領(lǐng)域。
主要特點：
◆ 高度穩(wěn)定的均勻性；
◆ 高度穩(wěn)定的折射率；
◆ Novellus技術(shù)授權(quán)；
◆ 零部件國產(chǎn)化及穩(wěn)定的零部件供應(yīng)；
◆ 菜單式二氧化硅、氮化硅、氮氧硅全自動沉積工藝；
◆ 真空室（沉積室）等離子體自動刻蝕清洗；
◆ 雙頻RF/LF電源發(fā)生器；
◆ 阻抗匹配器自動調(diào)節(jié)；
◆ 單腔（七片）、連續(xù)（七十五片）自動轉(zhuǎn)換沉積。
