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技術參數：我們提供多種口徑的圓形平面靶槍，尺寸1"， 2" and 3". 以及矩形靶槍

安裝法蘭口徑：NW63CF，NW100CF

真空腔體內長度范圍：150-400mm

真空腔體內端面直徑：60-96

靶材直徑： 1"， 2" and 3"

靶材**厚度：4-6mm

冷卻：水冷

特點：

100%超高真空（UHV）應用

獨有的放射性沉積模式

在線Z軸驅動及傾斜

水冷時不會存在水汽

平衡靶和非平衡靶設計

高強度磁體應用于磁性材料

應用領域：

PVD沉積

金屬涂層

納米結構薄膜

多層鍍層

反應濺射

射頻濺射，直流濺射，脈沖直流濺射

硬質涂層