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微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備

MPCVD設(shè)備

直接聯(lián)系

上海固璽科技有限責(zé)任公司

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

固璽科技

型號:

MPCVD設(shè)備

關(guān)注度:

462

產(chǎn)品介紹

“MPCVD”中文全稱名叫“微波等離子體化學(xué)氣相沉積”,MPCVD法的設(shè)備是制備高品質(zhì)金剛石的培育設(shè)備。其工作原理是利用微波作為能量來源,在特定的反應(yīng)氣體條件下激發(fā)等離子體進(jìn)行材料外延生長,微波系統(tǒng)將微波源產(chǎn)生的微波能量以特有的模式經(jīng)矩形波導(dǎo)輸出,通過模式轉(zhuǎn)換器耦合進(jìn)入圓柱形等離子體反應(yīng)腔,在微波場的作用下,反應(yīng)氣體被激發(fā)為等離子體狀態(tài),等離子體是部分電子被剝奪后的原子及原子團(tuán)被電離后產(chǎn)生的正負(fù)離子組成的離子化氣體狀物質(zhì),等離子體呈球狀形成于金剛石襯底上進(jìn)行外延生長。

產(chǎn)品咨詢

微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備

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微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備 - 462
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