粉體行業(yè)在線展覽
兩個(gè)鍍膜系統(tǒng)直接互聯(lián)設(shè)備
面議
致真精密
兩個(gè)鍍膜系統(tǒng)直接互聯(lián)設(shè)備
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致真設(shè)備還推出了多款互聯(lián)設(shè)備實(shí)現(xiàn)多個(gè)系統(tǒng)的互聯(lián),適用于2~8英寸的晶圓。通過真空泵組搭配可實(shí)現(xiàn)晶圓的超高真空傳輸。根據(jù)需求可以選擇兩套系統(tǒng)直接相連,成本較低且運(yùn)行可靠。也可以通過圓形互聯(lián)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)多個(gè)系統(tǒng)相連,通過選配進(jìn)樣室可以實(shí)現(xiàn)超高真空過渡,減少對鍍膜系統(tǒng)的污染。
觀察窗擋板
傾斜式高溫樣品臺
蒸發(fā)源
圓形互聯(lián)設(shè)備(外置機(jī)械臂、內(nèi)置機(jī)械臂)
兩個(gè)鍍膜系統(tǒng)直接互聯(lián)設(shè)備
超高真空管道傳輸設(shè)備
晶圓真空傳輸平臺—VTM
量產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備—MSI-200
生產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備—MSI-100-UHV
生產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備—MSI-100-HV
量產(chǎn)級多功能薄膜沉積設(shè)備
分子束外延設(shè)備—MBE-400