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真空退火爐—VF-200

直接聯(lián)系

合肥致真精密設(shè)備有限公司

安徽

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

致真精密

型號(hào)：

真空退火爐—VF-200

關(guān)注度：

555

產(chǎn)品介紹

真空退火爐是改善薄膜質(zhì)量的有效手段，在特殊氣體氛圍下加熱還可以改善薄膜的組分。VF-200是致真設(shè)備公司推出的一款標(biāo)準(zhǔn)型退火爐，可與公司其他工藝腔體互聯(lián)實(shí)現(xiàn)薄膜的原位退火，也可以單獨(dú)使用。還可以選配磁鐵模塊實(shí)現(xiàn)對磁性薄膜的誘導(dǎo)，系統(tǒng)搭配控制軟件，運(yùn)行穩(wěn)定可靠!

性能參數(shù)

晶圓尺寸	1inch-8inch
極限真空	5×10-8mbar
溫控	RT-1200℃，精度±1℃
加熱方式	SIC輻射加熱
氣體氛圍	可在O2等環(huán)境下加熱
互聯(lián)	可與工藝腔體互聯(lián)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)傳輸
真空系統(tǒng)	機(jī)械泵+分子泵
可選	磁鐵模塊、進(jìn)樣室、氣氛退火等

產(chǎn)品咨詢

真空退火爐—VF-200

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