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拋物面環形天線微波等離子體沉積系統

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熱絲化學氣相沉積設備

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微波等離子體化學氣相沉積系統（MPCVD)

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915MHz微波等離子體沉積系統(裂縫天線耦合)

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化學氣相沉積設備

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