粉體行業在線展覽
W-150A/B-6K 微波等離子化學氣相沉積系統
面議
鉑世光
W-150A/B-6K 微波等離子化學氣相沉積系統
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系統特點: |
·采用方位換向對稱方式微波耦合,來提高微波的均勻性 |
·穩定沉積面積20cm2 |
·**功率達到6KW |
·使用純凈的石英窗 |
·采用不銹鋼反應腔,能耐高溫 |
·高壓力控制,產生高密度單模式等離子體 |
·使用高精度氣體質量流量計,高可靠性穩定的壓力控制系統 |
·穩定的微波輸入 |
應用: |
·寶石 |
·復合熱沉片 |
·精密加工刀具刀頭 |
·紅外光學窗口 |
·量子傳感器/NV色心量子器件 |
·功率電子器件 |
·高增益激光器 |
·高純電化學電極 |
·納米金剛石材料 |
·第四代半導體材料 |