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美國SONIX晶圓檢測機AutoWafe Pro

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美國SONIX 晶圓檢測設備 AutoWafe Pro.

SONIX AutoWafer Pro™ 是專為全自動晶圓檢測設計的機型，主要應用在Bond wafer，MEMS 內部空洞、離層檢測，TSV量測方面。

● 使用于200和300mm晶圓

● 符合一級凈化間標準

● Cassette裝載，全自動檢測，支持FOUP或FOSB機械臂

● 支持200mm & 300mm SECS/GEM協議

● KLARF輸出文件

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