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Tergeo等離子清洗機(jī)

直接聯(lián)系

German First-Nano System 德國(guó)韋氏納米

美國(guó)

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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496

產(chǎn)品介紹

Tergeo等離子清洗機(jī)

特征:

● 模式：直接浸泡式等離子清洗可以高速刻蝕和表面改性；

遠(yuǎn)程等離子體可以輕微的清除表面污染，如SEM/TEM樣品清洗

● 操作：自動(dòng)配方執(zhí)行；自動(dòng)作業(yè)順序執(zhí)行；亦手動(dòng)控制

● 等離子傳感器：雙等離子強(qiáng)度傳感器（**申請(qǐng)中）實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)

等離子源和遠(yuǎn)程等離子源且等離子強(qiáng)度實(shí)時(shí)顯示LCD觸摸屏上

● 先進(jìn)工藝控制：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC氣體流量計(jì)、雙等離子強(qiáng)度傳感器、自動(dòng)阻抗匹配

● 腔體材料：鋁法蘭，石英腔體

● 石英腔體尺寸：內(nèi)徑：110mm；深280mm

● 樣品架：2mm厚高純度石英板

● 射頻天線：外部射頻電極和天線設(shè)計(jì)減少了內(nèi)部金屬電極在等離子清洗機(jī)中發(fā)現(xiàn)的金屬濺射問(wèn)題

● 射頻功率：13.56mhz射頻電源，自動(dòng)阻抗匹配

射頻功率有兩種選擇：0-75watt和0-150watt

● 工藝氣路：高達(dá)三個(gè)MFC氣路

● 用戶界面：7寸電阻式觸摸屏

● 軟件：總共20個(gè)可定制的配方。每個(gè)工藝多達(dá)三個(gè)步驟

Direct & downstream 清洗模式

典型的應(yīng)用：

引線鍵合倒裝芯片底部填充，器件的封裝和解封
光刻膠灰化、除渣、硅片清洗
PDMS/微流控/載玻片/芯片實(shí)驗(yàn)
去除的掃描電鏡/電鏡樣品上碳?xì)湮廴疚?/p>
改善金屬與金屬或復(fù)合材料的結(jié)合
改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘接

PDMS/玻璃鍵合的應(yīng)用筆記

Recipe ：

PDMS bonding: RF power 15Watt

RF pulse duty ratio: 10% to 20%Gas: Room air

Flow rate: 5sccm

Time: 30~60 seconds

Figure 1 經(jīng)過(guò)等離子體處理后，PDMS立即與玻璃結(jié)合，界面截留的氣體被自動(dòng)擠出，無(wú)需在烤箱里固化PDMS/玻璃膠幾個(gè)小時(shí)。

Figure 2，粘合一分鐘后，用戶試圖測(cè)試PDMS/玻璃粘合度，由于粘合非常牢固，即使由于強(qiáng)大的拉力部分PDMS被撕掉之后，PDMS/玻璃粘合界面仍然完好無(wú)損。

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Tergeo等離子清洗機(jī)

German First-Nano System 德國(guó)韋氏納米

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典型的應(yīng)用：