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勻膠機產品特點:

1、穩定的轉速和快 速啟動，可保證膠厚度的一 致性和均勻性；

2、轉速在12000轉/分范圍內穩定，美國國家標準 技 術研究院（NIST）認 證過；

3、采用PLC控制，速度可調節，在啟動之后一般工藝先以低速運轉使膠攤開，然后自動變到高速運轉，步驟轉速及相應的時間分別可調；

4、數據模擬：勻膠實驗時將一組設定的涂膠速度和時長數值輸入系統，系統會據此計算出速度設定方案，帶有速度隨 時間變化的曲 線；

5、數據記錄：為了提 高實驗的可重復性，設備會在數據記錄模式下，實時記錄下前一 次工藝過程的實驗實際值，并將該組數據存儲并重復調用，達到近乎一 致的可重復性；

6、NPP材質耐腐蝕及抗震；

一、勻膠機性能指標：

1、腔體尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；

2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm；

3、轉動速度：0-12，000rpm，

4、旋涂加速度：0-12000rpm/sec（空載）；

5、馬達旋涂轉速：穩定性能誤差<±1 %；

6、轉速調節精度：<0.2rpm，重復性< 0.2rpm；

7、工藝時間設定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；

8、勻膠機材質：NPP天然聚丙烯材質，抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方；

9、高精 度數碼控制器：PLC控制，設置點精度小于0.006%。

10、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設置51步不同的速度狀態；

11、分辨率：分辨率小于0.5轉/分，可重復性小于±0.5轉/分，美國國家標準技 術研究院（NIST）認 證過的，并且不用再校準！]

12、配套真空泵系統：無 油型 220~240伏交流，50/60赫茲；

13、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件；

14、原裝進 口水平測試儀；

應用領域：

鈣鈦礦太陽能電池Perovskite solar cells

有機太陽電池

OPV有機光伏

OLED有機發光二 極管

OFET & TFT有機場效應晶體管&薄膜晶體管

Graphene &2D石墨烯&二維材料

Substrates襯底

Materials材料