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氣相沉積設(shè)備ATS500

氣相沉積設(shè)備ATS500

直接聯(lián)系

北京創(chuàng)世杰科技發(fā)展有限公司

北京

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

創(chuàng)世杰

型號(hào)：

氣相沉積設(shè)備ATS500

關(guān)注度：

461

產(chǎn)品介紹

ATS 500設(shè)計(jì)用于OLED、有機(jī)電子應(yīng)用、光伏、半導(dǎo)體器件、透鏡和光學(xué)濾波器的研發(fā)和小批量生產(chǎn)。

系統(tǒng)特色是配有全彩觸摸屏的PLC，集成了工藝菜單控制和數(shù)據(jù)記錄功能，可以選配全電腦控制。


ATS 500提供廣泛的工藝選項(xiàng)，包括：


  • 熱阻蒸發(fā)源。

  • 溫度控制蒸發(fā)源，用于OLED和有機(jī)光伏應(yīng)用。

  • 電子束蒸發(fā)源，用于高速率蒸發(fā)。

  • 離子束輔助，用于光學(xué)應(yīng)用或者基板清洗。

  • DC、RF和脈沖DC源，用于金屬和電解質(zhì)向上或者向下的濺射工藝。

  • 以上兩個(gè)或者多個(gè)功能的混合系統(tǒng)


產(chǎn)品咨詢

氣相沉積設(shè)備ATS500

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