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超高溫退火爐

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直接聯(lián)系

拉普拉斯新能源科技股份有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報(bào)價：

面議

品牌：

拉普拉斯

型號：

超高溫退火爐

關(guān)注度：

915

產(chǎn)品介紹

項(xiàng)   目

高溫退火激活爐

功  能

?  用于SiC、GaN等高溫退火活化工藝 

?  滿足各種真空、氣氛高溫退火的激活工藝

重要參數(shù)

?  **晶圓尺寸：滿足6寸以下晶圓工藝要求 

?  **載片量：50片/批 

?  **加熱溫度：2000℃

裝卸片方式

?  立式垂直升降 

?  立式真空密封系統(tǒng)

SiC/GaN基半導(dǎo)體器件用Bhadra?系列BHA200型超高溫退火爐

產(chǎn)品咨詢

超高溫退火爐

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