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ELEDE? 380G+/G380C刻蝕機

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北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司

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北方華創(chuàng)

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ELEDE? 380G+/G380C刻蝕機

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產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品簡介

ELEDE 380系列刻蝕機是LED芯片制作的關(guān)鍵設(shè)備, 可以用于正裝芯片，倒裝芯片，垂直芯片這三種芯片中的電極刻蝕(刻蝕材料GaN, AlGaInP/GaP)，隔離刻蝕(刻蝕材料GaN,GaAs)SiO_2, SiN_X),SiO₂ 和金屬阻擋層刻蝕(刻蝕材料TiW)。良好的刻蝕均勻性對芯片的亮度和良率至關(guān)重要。

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ELEDE? 380G+/G380C刻蝕機

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