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產品簡介

    NMC508M 8英寸鋁金屬刻蝕機是電感耦合高密度等離子體干法刻蝕機，主要用于200mm硅片的金屬鋁和鎢的刻蝕工藝。NMC508M為多腔室集群設備（Cluster Tool），是一個全自動的、能夠進行串行或并行工藝處理的刻蝕系統。該系統主要由傳輸模塊（Transfer Module）、金屬刻蝕工藝模塊（Metal Etch Process Module）、去膠模塊（Strip Process Module）、冷卻模塊（Cooling station）、電源柜（Remote AC Power Rack）和控制柜（Control Rack）等組成，其中金屬刻蝕工藝模塊用于進行金屬刻蝕工藝，去膠模塊用于去除金屬刻蝕后的殘余光刻膠和殘...