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德國 Raith Pioneer Two 電子束光刻機：

1.系統適用于2"及以下的樣片，采用熱場發射電子槍，加速電壓為20V~30kV。可實現高分辨電子束曝光，*小驗收線寬≤8nm。

2.系統中集成了高精度的激光干涉工作臺，運動行程為50 x 50 x 25mm，XY方向定位精度2nm，可以實現精確的拼接套刻，拼接套刻精度≤50nm。

3.系統兼具了高精度成像度量的功能，其成像效果和市面上中高端的熱場電鏡類似，放大倍數為20x ~1，000，000x。

4.另外，除了標準配置， 客戶還可以增加一些選配件，如選配背散射探測器、能譜儀等，進行材料分析；選配工作臺旋轉傾斜模塊，實現不同角度的材料成像等。如果選擇相應的選配件，請增加相應的價格。