粉體行業在線展覽
粉體行業在線展覽
直接聯系
深圳市藍星宇電子科技有限公司
瑞典
面議
376
瑞典Mycronic 掩膜計量系統Prexision-MMS
詳細介紹
掩膜計量系統
主要優勢
*更佳的配準: 30%
*更好地將掩膜套合到掩膜上: 20%
*更短的周轉時間: 30%
。 **的創新性Prexision平臺具備優異的精準度與可重復性
。 用我們的**技術改善配準測量。
。因為**次測量的結果精確無誤，這大大給您節省了周轉時間。
。 充分發揮我們的Prexision光刻機的潛力。
基于*精確的Prexision平臺打造出的Prexision-MMS將對大面積的配準測量帶到了全新的高度。現在，您可以證明您的光掩膜質量究竟有多好了！
為充分利用其性能，您的測量系統性能對于精密調校光刻機也是極其重要的，這樣您的光掩膜才能以**的質量描繪出來。
Prexision-MMS 提供兩個型號。G8型**可處理用于8代顯示器玻璃尺寸的掩模尺寸。對于G10型，**可處理11代顯示器尺寸。
技術指標 Prexision-MMS
掩膜對掩膜套合3σ[nm] : 40
配準3σ[nm] : 65
關鍵尺寸可重復性3σ[nm]: 50
**尺寸: G8
