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NV-150型MBE系統

NV-150型MBE系統

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中國電子科技集團公司第四十八研究所

湖南

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

電子科技

型號：

NV-150型MBE系統

關注度：

227

產品介紹

生長室

· 極限真空5E-11Torr

· 6英寸或3×3英寸襯底

· 12個源爐口

· 可選E-gun系統

· 襯底**加熱至1000°C

· 多種束源爐擋板可選


緩沖室

·極限真空SE-10Torr

·可選集成式高溫除氣臺

·可選獨立預處理室

·易于擴展、多腔互聯

·線性手動／自動傳輸


進樣室

· 快開門設計

· 可裝載7片晶圓

· 紅外燈管加熱

· 晶圓升降電動控制


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