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RTR濺鍍

定制-RTR濺鍍

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廈門毅睿科技有限公司

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毅睿/芯壹方

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定制-RTR濺鍍

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RTR濺鍍


RTR濺鍍第6頁-24.PNG

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主輥直徑1,000mm(φ) x600/1500mm(D)
真空室

5 chambers (Unwind、Pre-Heat、

Coating 、Cooling 、Rewind

有效涂層寬度1,350mm/500mm
厚度15~250μm
速度0.5~20M/min
傳輸張力2~7Kg @1~3 m/min
對準≤±2mm@1~3m/min
濺射材料

ITO 、Nb?O5,、SiO2、Si、NbzOX、Cu

厚度均勻性≤±3%
靶材利用率70%
陰極Rotatable cathode 4~ 6 sets


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