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定制-超高真空多腔體自動(dòng)傳輸蒸鍍/濺鍍系統(tǒng)
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定制-超高真空多腔體自動(dòng)傳輸蒸鍍/濺鍍系統(tǒng)
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超高真空多腔體自動(dòng)傳輸蒸鍍/濺鍍系統(tǒng)
Description :
●UHV 多腔體:Ion Sources, Thermal/E-Beam Evaporator,Sputter .E-Beam... etc.,
●基板:多片/單片Max 8 Inch,5x5 cm,10x10cm或其他尺寸
●單片，多片承載裝置Cassettes,可程式自動(dòng)選擇及傳輸
●真空度:UHV 10-9 Torr
●自動(dòng)傳輸，自動(dòng)制程設(shè)定...etc.,
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