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濕法刻蝕設備

濕法刻蝕設備

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盛美半導體設備（上海）股份有限公司

美國

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

盛美半導體

型號：

濕法刻蝕設備

關注度：

761

產品介紹

智能工序功能 - 對于不同的金屬腐蝕工藝，如銅刻蝕后再進行鈦刻蝕，可預設工藝菜單與工序后，在設備中一次完成。
 

主要優勢

先進的噴嘴掃描系統

精確的藥液控制

藥液回收使用可減少成本

專注安全性


特性和規格

兼容8寸和12寸晶圓

*多可配至4個單片腔體

*多可配至5種藥液進行雙面清洗工藝

*多可回收2種藥液


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