粉體行業在線展覽
快速高溫退火設備RTA RSA-06
面議
萬德思諾
快速高溫退火設備RTA RSA-06
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產品圖片:
產品型號:
RSA-06
產品介紹:
Ceramic, Metal Free的熱場設計
可以實現± 10℃以下(1500℃) 的面內溫度分布。
急加熱急冷卻的設計, 即使單片對應整體速度也很快
反應爐和冷卻室是分開存在, 加熱部可以保持均一高溫。 (**申請)
加熱部一直是高溫保持,綜合運轉成本會降低
本裝置為高真空對應(可以使用干泵+渦輪分子泵)
**可以對應2000℃。
我們將通過充分利用仿真軟件來建議**的熱場
基本規格(SPEC)
溶液成長法單晶生長設備(TSSG法)
中型高速研磨設備 STC-610
快速高溫退火設備RTA RSA-06
全自動晶片減薄機SGM-9100
桌上型精密切割機MPC-200e
MIST-CVD氧化物薄膜沉積設備 M150A
C2W低溫熱壓鍵合設備 SAFP
高還原性低溫熱壓對準鍵合設備 MAFP
高還原性低溫熱壓鍵合設備 FATB
碳膜濺射設備 CS-200
碳膜去除設備 NE-550EX
激活退火設備 Ailesic-2000