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坩堝下降設備

坩堝下降設備

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山東力冠微電子裝備有限公司

山東

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

山東力冠

型號:

坩堝下降設備

關注度:

382

產品介紹

產品概述/Product Introduction:

? 主要用于4-8英寸砷化鎵、磷化銦等化合物單晶生長

Mainly used for single crystal growth of 4-8 inches of gallium arsenide, indium phosphide and other compounds

? 設備由機架、安瓿支撐機構、加熱器和控制系統組成

The equipment consists of a rack, ampoule support mechanism, heater and control system

? 能夠實現安瓿移動和轉動的精確控制

Accurate control of ampoule movement and rotation can be realized

 

產品特點/Product Characteristics:

? 工業計算機控制系統(WINDOWS系統界面,操作方便簡潔)

Industrial computer control system (WINDOWS system interface, easy and concise operation)

? 關鍵部件均采用進口,確保設備的高可靠性

The key parts are imported to ensure the high reliability of the equipment

? 控溫精度高,溫區控溫穩定性好

High temperature control precision and good temperature control stability in temperature zone

? 具有斷電報警、超溫、欠溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能

lt has various safety protection functions such as power failure alarm, over-temperature alarm, under-tempera-ture alarm and extreme over-temperature alarm

? 速度可調的梯形波、三角波及正弦波等旋轉功能

Rotation functions such as trapezoidal wave, triangular wave and sine wave with adjustable speed

? 單晶質量高

High quality single crystal

 

技術指標/Technical Indicators

晶片類型:4/6英寸

Wafer type: 4/6 inches

工作溫度范圍:1100℃

Operating temperature range: 1100℃

加熱器**溫度:1250°C

Maximum heater temperature: 1250℃

控溫精度:土0.5℃

Temperature control accuracy: 土0.5℃

控溫段數:4段

Number of temperature control sections: 4 sections

爐腔壓力:4MPa

Furnace chamber pressure: 4MPa

 

應用范圍/Scope:

? 廣泛用于材料的紺蝸下降的單晶生長

Bridgman-descending single crystal growth widely used in materials


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