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>主動隔振系統（電子顯微鏡、半導體設備專用）

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主動隔振系統（電子顯微鏡、半導體設備專用）

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上海良允

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主動隔振系統（電子顯微鏡、半導體設備專用）

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αL4X-911R1的基本原理和功能

利用加速度傳感器檢測地板的振動，通過6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動控制，由氣動和線性馬達執行器來實現振動衰減，消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場地的細微振動，滿足電子顯微鏡廠商提供的允許振動值。

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