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晶圓劃片機

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邁可諾技術(shù)有限公司

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673

產(chǎn)品介紹

MR200 晶圓劃片機

手動劃線可精確切割

結(jié)構(gòu)化硅晶片的制造

MR 200的設(shè)置可為結(jié)構(gòu)化硅晶片切割提供高精度劃線。MR 200是必不可少的工具,特別是對于半導體技術(shù)中的REM制備。MR 200還適用于少量芯片的單芯片化,例如在實驗室中使用。設(shè)備基本設(shè)置為劃線參數(shù)的調(diào)整提供了多種選擇。高質(zhì)量的變焦光學元件可將放大倍率從8倍無級調(diào)節(jié)到40倍。光學和機械學可以通過輔助模塊進行擴展,以提高效率和操作舒適性。這包括用于連接相機的擴展套件,具有測量功能的圖像處理系統(tǒng)以及用于工作臺位移的數(shù)字測量系統(tǒng)。

將基板放在托盤上后,將顯微鏡聚焦在晶圓表面上。通過手動將工作臺驅(qū)動到xy方向,可以將劃線調(diào)整為樣本上的參考標記或結(jié)構(gòu)。高質(zhì)量的變焦顯微鏡可在樣品表面的總覽和細節(jié)顯示之間進行快速切換。使用x / y十字架工作臺的微調(diào),可以非常精確地定位晶片。劃線鉆石的接觸點可以調(diào)節(jié)。目鏡的十字準線或監(jiān)視器上的十字準線定義了劃線鉆石的接觸點。劃線鉆石由腳踏開關(guān)(升高/降低)控制,因此可以用雙手控制劃線運動。如果定義了劃線,則通過腳踏開關(guān)降低鉆石。為了劃片,手動移動整個盤。相機圖像在計算機屏幕上。視頻圖像可以保存。圖片顯示了光學元件的不同放大倍率,它們在目鏡中顯示為8x16x32x40x

特點:

•擠壓型材的基本框架

•尺寸(B×T×H):400×800×600mm

•重量20kg

•電劃線(咨詢:氣動劃線,以提高劃線力)

•通過腳踏開關(guān)控制劃線鉆石(下降,抬起)

•可調(diào)節(jié)的劃線能力(10 g120 g,其他可詢價)

•劃線槽寬度 5 μm10 μm(取決于劃線力度和材料)

•下降速度可調(diào)

•劃線鉆石高度可調(diào)

•劃線金剛石工作角度可調(diào)

•通過真空提取劃線顆粒

•高質(zhì)量的變焦顯微鏡,可無級調(diào)節(jié)放大倍率,范圍為8×…40×

•十字形目鏡,用于根據(jù)邊緣,結(jié)構(gòu)和參考標記等精確調(diào)整劃線

•在放大10倍時,光學分辨率更好10 μm

•涂有特氟隆涂層的真空晶片盤,安裝在x / y平臺上,直徑200 mm詢問100 mm

•通過千分尺螺絲微調(diào)晶片夾頭的角度(10 μm分辨率= 0.006°)

盤精確旋轉(zhuǎn)90°,無需關(guān)閉真空

•可調(diào)節(jié)擋塊,使卡盤旋轉(zhuǎn)90°

•手動x / y平臺,行程(200×200mm,用于劃刻運動和粗略定位

25毫米測微頭螺釘,可橫向于劃線方向精確定位

10毫米測微螺釘,可在劃線方向上精確定位

•帶亮度控制和電源的LED環(huán)形燈

•*小樣本尺寸約:(10×10mm

•晶圓厚度:硅晶圓的所有標準厚度

•材料:硅,砷化鎵(GaAs)(其他材料如有查詢)

•視頻系統(tǒng)(也帶有圖像處理軟件)作為附件提供

光學

高質(zhì)量的變焦光學元件可將放大倍率從8倍調(diào)整為40倍。顯微鏡還提供許多附加功能附件。

產(chǎn)品參數(shù):

MR200 晶圓劃片機

管路中的氣壓

<75 mbar

電源

100-220 V交流電,60W

晶圓托盤直徑

100mm

200mm

**范圍

X:±12,5mm, y:±6,5 mm/0,01mm; ?: ±2°

切割長度

200mm

重量

16kg

切力度

10g – 130g

顯微鏡倍率

Γ’=8…40x

設(shè)備尺寸

高度:550mm,寬度:430mm,深度:700mm

產(chǎn)品咨詢

晶圓劃片機

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